SYNOPSYS中光柵表面輸入格式： mY"Dw^)  
SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM i#YDdz  
其中，X-衍射發(fā)生在X-Z平面；Y-衍射發(fā)生在Y－Z平面。Ｌ／ＭＭ－給出了光柵刻線數(shù)；ORDER-衍射級次；CWAV-波長；HIN-基底折射率； }N-UlL(  
VNUM-相應(yīng)的阿貝數(shù)； ;p*L(8<YI  
jA?[*HB  
例子: 9nQyPb6  
RLE j,].88H  
ID GRATING_REAL FLAT