想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 a@W7<9fY;  

求教，有人嗎

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ 4x]NUt  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 gV`S%   
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 )0F^NU  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ JqQ3C}z  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)  &!4( 0u  

/LSq%~UF  
謝謝！物理膜厚精度，

morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點，  2%~3%的也能應(yīng)付。 9 Wxq)  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 JiG8jB7%}  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。 (2020-03-20 19:47)  r7zf+a]  

/M5=tW#e  
明白了，謝謝！

alien21:謝謝！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  fh/)di  

4jI*Y6Wkz  
物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。 0hEF$d6U  
水晶片的震蕩頻率會受溫度影響，鍍膜時候溫度上升會干擾到水晶的精度。 U^W
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所以有些高精度的鍍膜機會用水冷來解決溫升的問題。 X