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掃描電鏡SEM發(fā)展史 掃描電鏡SEM發(fā)展史 1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長(zhǎng)成反比。奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 1897 J.J. Thmson 發(fā)現(xiàn)電子 1924 Louis de Broglie (1929 年諾貝爾物理獎(jiǎng)得主） 提出電子本身具有波動(dòng)的物理特性， 進(jìn)一步提供電子顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 1926 Busch 發(fā)現(xiàn)電子可像光線經(jīng)過(guò)玻璃透鏡偏折，一般由電磁場(chǎng)的改變而偏折。 1931 德國(guó)物理學(xué)家Knoll 及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。 1937 首部商業(yè)原型機(jī)制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。 1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。 1938～39 穿透式電子顯微鏡正式上市（西門子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。 1940～41 RCA 公司推出美國(guó)第一部穿透式電子顯微鏡（解像力50 nm）。 |
