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掃描電鏡SEM發(fā)展史

發(fā)布：探針臺 2020-02-19 14:35 閱讀：1951
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掃描電鏡SEM發(fā)展史 ;4N;D  
1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。奠定了顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 w?kJ+lmOQy  
1897 J.J. Thmson 發(fā)現(xiàn)電子 >D201&*G%  
1924 Louis de Broglie (1929 年諾貝爾物理獎(jiǎng)得主） 提出電子本身具有波動的物理特性， 進(jìn)一步提供電子顯微鏡的理論基礎(chǔ)。 =] *.ZH#h  
1926 Busch 發(fā)現(xiàn)電子可像光線經(jīng)過玻璃透鏡偏折，一般由電磁場的改變而偏折。 fd-q3 _f  
1931 德國物理學(xué)家Knoll 及Ruska 首先發(fā)展出穿透式電子顯微鏡原型機(jī)。 a:QDBS2Llv  
1937 首部商業(yè)原型機(jī)制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。 5onm]V]  
1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發(fā)展成功。 ]Oq[gBL"A  
1938～39 穿透式電子顯微鏡正式上市（西門子公司，50KV~100KV，解像力20~30Å；）。 ]?*I9  
1940～41 RCA 公司推出美國第一部穿透式電子顯微鏡（解像力50 nm）。 9]q:[zm^  
1941～63 解像力提升至2~3 Å （穿透式） 及100Å （掃描式） C8z{XSo  
1960 Everhart and Thornley 發(fā)明二次電子偵測器。 ;2B{