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關(guān)注
任務(wù)
半導(dǎo)體術(shù)語解釋 （八） （最大值－最小值）/（2*平均值），有兩種均勻性：一種是一片Wafer的均勻性（within wafer），測得五個點，然后得到最大值最小值和平均值，再安公式計算。另一種是Wafe之間的均勻性(wafer to wafer)，同樣測得最大值和最小值和平均值再計算均勻性。 245) USG (Undoped SiO2) 即沒有攙雜的二氧化硅，LPCVD制得，一般沉積在BPSG下面，以防止BPSG中的P元素滲透到Si表面，影響組件的特性。 246) Up Time 使用率 |
