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半導(dǎo)體術(shù)語(yǔ)解釋 (六)

發(fā)布:探針臺(tái) 2020-01-09 11:37 閱讀:4769
171) Pilot Wafer試作芯片 b?hdWQSW7  
Pilot Wafer為試作芯片,并非生產(chǎn)芯片 (Prime Wafer)。在操作機(jī)器前,為了確定機(jī)器是否正常所作的試片,或機(jī)器作完維修、保養(yǎng)后所作的測(cè)試用芯片均稱(chēng)為Pilot Wafer, 由于Pilot Wafer 所作出來(lái)的結(jié)果將決定該批的制程條件,故處理Pilot Wafer時(shí), 所抱持的態(tài)度必須和處理Prime Wafer一樣慎重。 np}F [v