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芯片測(cè)試術(shù)語介紹

發(fā)布:探針臺(tái) 2019-10-30 11:33 閱讀:2063
H8g 6ZCU~  
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CP、FT、WAT %,$xmoj9O]  
3'p 1m`8  
C}9GrIi  
CP是把壞的Die挑出來,可以減少封裝和測(cè)試的成本?梢愿苯拥闹Wafer 的良率。FT是把壞的chip挑出來;檢驗(yàn)封裝的良率。 z,ryY'ua/I  
現(xiàn)在對(duì)于一般的wafer工藝,很多公司多把CP給省了;減少成本。 I>rTqOK  
CP對(duì)整片Wafer的每個(gè)Die來測(cè)試 ai d1eF  
FT則對(duì)封裝好的Chip來測(cè)試。 U=%(kOx  
CP  Pass 才會(huì)去封裝。然后FT,確保封裝后也Pass。 :tbI=NDb  
WATWafer Acceptance Test,對(duì)專門的測(cè)試圖形(test key)的測(cè)試,通過電參數(shù)來監(jiān)控各步工藝是否正常和穩(wěn)定; ,e|"p[z ~T  
CPwafer levelchip probing,是整個(gè)wafer工藝,包括backgrindingbackmetalif need),對(duì)一些基本器件參數(shù)的測(cè)試,如vt(閾值電壓),Rdson(導(dǎo)通電阻),BVdss(源漏擊穿電壓),Igss(柵源漏電流),Idss(漏源漏電流)等,一般測(cè)試機(jī)臺(tái)的電壓和功率不會(huì)很高; }e|cszNRd  
FTpackaged chip levelFinal Test,主要是對(duì)于這個(gè)(CP passedICDevice芯片應(yīng)用方面的測(cè)試,有些甚至是待機(jī)測(cè)試; 6RIbsy  
Pass FP還不夠,還需要做process qual product qual N, u]2,E  
CP 測(cè)試對(duì)Memory來說還有一個(gè)非常重要的作用,那就是通過MRA計(jì)算出chip level Repair address,通過Laser RepairCP測(cè)試中的Repairable die 修補(bǔ)回來,這樣保證了yieldreliability兩方面的提升。 ElTB{C>u  
CP是對(duì)wafer進(jìn)行測(cè)試,檢查fab廠制造的工藝水平 %qsl<_&  
FT是對(duì)package進(jìn)行測(cè)試,檢查封裝廠制造的工藝水平 P cbhylKd  
對(duì)于測(cè)試項(xiàng)來說,有些測(cè)試項(xiàng)在CP時(shí)會(huì)進(jìn)行測(cè)試,在FT時(shí)就不用再次進(jìn)行測(cè)試了,節(jié)省了FT測(cè)試時(shí)間;但是有些測(cè)試項(xiàng)必須在FT時(shí)才進(jìn)行測(cè)試(不同的設(shè)計(jì)公司會(huì)有不同的要求) ;HYEJ3  
一般來說,CP測(cè)試的項(xiàng)目比較多,比較全;FT測(cè)的項(xiàng)目比較少,但都是關(guān)鍵項(xiàng)目,條件嚴(yán)格。但也有很多公司只做FT不做CP(如果FT和封裝yield高的話,CP就失去意義了)。 [$K8y&\L  
在測(cè)試方面,CP比較難的是探針卡的制作,并行測(cè)試的干擾問題。FT相對(duì)來說簡單一點(diǎn)。還有一點(diǎn),memory測(cè)試的CP會(huì)更難,因?yàn)橐?/font>redundancy analysis,寫程序很麻煩。 R68:=E4  
f4,|D |  
CP在整個(gè)制程中算是半成品測(cè)試,目的有2個(gè),1個(gè)是監(jiān)控前道工藝良率,另一個(gè)是降低后道成本(避免封裝過多的壞芯片),其能夠測(cè)試的項(xiàng)比FT要少些。最簡單的一個(gè)例子,碰到大電流測(cè)試項(xiàng)CP肯定是不測(cè)的(探針容許的電流有限),這項(xiàng)只能在封裝后的FT測(cè)。不過許多項(xiàng)CP測(cè)試后FT的時(shí)候就可以免掉不測(cè)了(可以提高效率),所以有時(shí)會(huì)覺得FT的測(cè)試項(xiàng)比CP少很多。 Zs|Ga,T  
應(yīng)該說WAT的測(cè)試項(xiàng)和CP/FT是不同的。CP不是制造(FAB)測(cè)的! W4.w  
CP的項(xiàng)目是從屬于FT的(也就是說CP測(cè)的只會(huì)比FT少),項(xiàng)目完全一樣的;不同的是卡的SPEC而已;因?yàn)榉庋b都會(huì)導(dǎo)致參數(shù)漂移,所以CP測(cè)試SPEC收的要比FT更緊以確保最終成品FT良率。還有相當(dāng)多的DHwafer做成幾個(gè)系列通用的die,在CP是通過trimming來定向確定做成其系列中的某一款,這是解決相似電路節(jié)省光刻版的佳方案;所以除非你公司的wafer封裝成device是唯()一的,且WAT良率在99%左右,才會(huì)盲封的。 4cy,'B  
據(jù)我所知盲封的DH很少很少,風(fēng)險(xiǎn)實(shí)在太大,不容易受控。 %yc-D]P/  
WATwafer level 的管芯或結(jié)構(gòu)測(cè)試 )Vy0V=  
CPwafer level 的電路測(cè)試含功能 QiA}0q3]0  
FTdevice level 的電路測(cè)試含功能 AJ}m2EH  
~u!V_su]GY  
CP=chip probing I lO,Ql  
FT=Final Test 22ySMtxn  
CP 一般是在測(cè)試晶圓,封裝之前看,封裝后都要FT的。不過bump wafer是在裝上錫球,probing后就沒有FT QSzht$ 8  
FT是在封裝之后,也叫“終測(cè)”。意思是說測(cè)試完這道就直接賣去做application !\VEUF,K?  
CPprober,probe cardFThandler,socket '+l"zK ]L-  
CP比較常見的是room temperature=25度,FT可能一般就是7590 e[Vk+Te7  
CP沒有QA buy-off(質(zhì)量認(rèn)證、驗(yàn)收),FT z80(+ `   
CP兩方面 C}uzzG6s  
1. 監(jiān)控工藝,所以呢,覺得probe實(shí)際屬于FAB范疇 zC:Pg4=w]  
2. 控制成本。Financial fate。我們知道FT封裝和測(cè)試成本是芯片成本中比較大的一部分,所以把次品在probereject掉或者修復(fù),最有利于控制成本 X'\h^\yOo  
FT: sk07|9nU  
終測(cè)通常是測(cè)試項(xiàng)最多的測(cè)試了,有些客戶還要求3溫測(cè)試,成本也最大。 &=S:I!9;;  
至于測(cè)試項(xiàng)呢, G2y1S/  
1. 如果測(cè)試時(shí)間很長,CPFT又都可以測(cè),像trim項(xiàng),加在probe能顯著降低時(shí)間成本,當(dāng)然也要看客戶要求。 +qpG$#J0  
2. 關(guān)于大電流測(cè)試呢,FT多些,但是我在probe也測(cè)過十幾安培的功率mosfet,一個(gè)PAD上十多個(gè)needle。 :B=Gb8?  
3. 有些PAD會(huì)封裝到device內(nèi)部,在FT是看不到的,所以有些測(cè)試項(xiàng)只能在CP直接測(cè),像功率管的GATE端漏電流測(cè)試Igss I.Catm2  
CP測(cè)試主要是挑壞die,修補(bǔ)die,然后保證die在基本的spec內(nèi),function well。 @J>JZ7m]\  
FT測(cè)試主要是package完成后,保證die在嚴(yán)格的spec內(nèi)能夠function。 }^Sk.:;n3  
CP的難點(diǎn)在于,如何在最短的時(shí)間內(nèi)挑出壞die,修補(bǔ)die ]8"U)fzmc.  
FT的難點(diǎn)在于,如何在最短的時(shí)間內(nèi),保證出廠的Unit能夠完成全部的Function。
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