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EDX（能量色散X射線光譜儀）ASDF \,!FL))yC  
不同元素的特征X射線在電子束撞擊樣品表面時會被激發(fā)出來。能量色散X射線光譜儀通過測量特征X射線的能量和強度來鑒別樣品中的元素組成并進(jìn)行定量分析。該儀器通常與掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）結(jié)合使用，能對微米及納米級別的區(qū)域進(jìn)行元素分析。

優(yōu)勢	局限
Dh BUMDoB   - 分析快速 fBR,Oneo   - 廉價易得 rg"W1m[k   - 非破壞性分析	~zi6wu(3   - 采樣深度大  b4Zkj2L   - 無化學(xué)態(tài)信息 he8y   - 對輕元素靈敏度低 73A1+2   - 樣品須滿足超高真空條件 I{;s.2   - 半定量分析

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