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OBIRCH/TIVA（激光故障定位法） VJJw"4DJ  
激光故障定位法是先進制程里最有效的定位方法。由于高度聚焦的激光引起的芯片局部溫度升高，會造成電阻的改變并引發(fā)外加電壓或電流的變化。因此激光掃描顯微鏡就是利用該原理來確定短路和開路的故障點。激光掃描顯微鏡配有兩種波長的激光，其中1340nm激光多用于檢測芯片，而1064nm激光多用于檢測III-V族器件。

優(yōu)勢	局限
|\Qr cf   - 激光探針光斑相對較小 !y?g$e`   - 可以檢測到pn結(jié)失效和金屬層短路 SOeL@!_   - 可用于分析芯片的正面和背面 wCc:HfmjJ	o),i2     - 激光探針可能被金屬層阻擋