ThQEQ6y  
EMMI（微光顯微鏡） WO*WAP)n  
微光顯微鏡通過(guò)測(cè)量樣品加偏壓時(shí)所釋放出來(lái)的光子來(lái)定位故障點(diǎn)。該儀器可以非常靈敏的測(cè)出微量光子，并且通過(guò)和背景圖片重疊的方法來(lái)確定被測(cè)樣品漏電的具體位置。微光顯微鏡已經(jīng)成為失效分析定位里最為常見(jiàn)的分析手段。

優(yōu)勢(shì)	局限
?KuJs9SM   - 使用相對(duì)簡(jiǎn)單 ?28GQyk4   - 可以檢測(cè)pn結(jié)的漏電 [Oy2&C	h}:5hi Jw   - 光子可能會(huì)被金屬層擋住而無(wú)法顯示 LAVt/TcZS|   - 無(wú)法測(cè)量金屬層短路 2mp>Mn~K^   - 微光漏電光斑較大