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掃描電子顯微鏡SEM的特點

發(fā)布:探針臺 2019-08-06 13:51 閱讀:2459
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人類智慧促使著科技不斷發(fā)展,從而開始了我們對于現(xiàn)存空間的無限探索。 g!k'tizYD  
大到宇宙蒼穹,小到微觀世界,我們沉醉于浩瀚星河的磅礴壯闊,也癡迷于微觀材料世界的奇妙引力。 P9wx`x""k  
沒有什么能阻擋我們探秘的步伐,今天,我們就借用掃描電子顯微鏡來走進材料的微觀領(lǐng)域,感受科學(xué)技術(shù)的力量! ON$^_l/c  
我們首先一起來簡單了解一下,什么是掃描電子顯微鏡?它是憑借什么優(yōu)勢來帶領(lǐng)我們探秘微觀世界的! pFu3FUO*;  
掃描電子顯微鏡 zqq$PaH*  
掃描電鏡(Scanning Electron Microscope ,簡稱SEM)利用電子束打在樣品表面逐點掃描,與樣品作用產(chǎn)生各種信號,這些信號經(jīng)檢測器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號,最后在顯示屏上反映樣品表面各種特征的像,且有強烈的立體感。 b ~Qd9 Nf  
掃描電子顯微鏡的原理 o~Im5j],*  
掃描電子顯微鏡是一個復(fù)雜的系統(tǒng),濃縮了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細機械結(jié)構(gòu)以及現(xiàn)代計算機控制技術(shù)。 oXR%A7  
結(jié)構(gòu): SEM 主要包括電子光學(xué)系統(tǒng)、電子系統(tǒng)、顯示部件和真空系統(tǒng)組成。 ,a I0Aw  
電子光學(xué)系統(tǒng):主要包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室。 *+E9@r=HF  
電子系統(tǒng):主要包括電源系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)。電源系統(tǒng)主要是指各種部件的電源,如加速電壓電源、透鏡電源和光電倍增管電源等。檢測系統(tǒng)主要由探測器、信號放大器和電信號處理器組成。 k($N_XlE  
顯示部件:主要是顯像管,將經(jīng)處理后的信號通過顯像管轉(zhuǎn)換成圖像顯示。 /}]Irj4m  
真空系統(tǒng):真空系統(tǒng)為電子光學(xué)系統(tǒng)提供必需的高真空,保證了電子束的正常掃描,還可以防止樣品受到污染。 CVi3nS5Yl  
掃描電子顯微鏡的特點 @nJ#kd[  
1. 有較高的放大倍數(shù),20倍-20萬倍之間連續(xù)可調(diào); RyGce' q  
2. 有很大的景深,視野大,圖像的分辨率高,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結(jié)構(gòu),還能獲得與形貌相對應(yīng)的多方面的信息; (> v1)*r  
3. 對于導(dǎo)電材料,可直接放入樣品室進行分析,對于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層; >,8DwNuq  
4. 制樣簡單,能夠直接觀察大尺寸試樣的原始表面,同時輻照對樣品表面的污染小; 27;t,Oq}  
5. 在不犧牲掃描電子顯微鏡特性的情況下擴充附加功能,如與EDS聯(lián)用,可對材料的成分進行分析。 [-@Lbu-|  
在我們對SEM有了一個稍細致的了解之后,接下來就著重進入其在微觀材料領(lǐng)域的應(yīng)用,看看能為我們呈現(xiàn)哪些極富價值的景觀! ZW}0{8Dk  
檢測實驗室對于掃描電子顯微鏡技術(shù)應(yīng)用于材料及零部件檢測方面有著豐富的經(jīng)驗: *lN>RWbM%  
對于金屬材料的分析方面,涉及金屬材料斷裂失效分析、金屬材料的表面缺陷分析、金屬材料的微區(qū)化學(xué)成分分析等; %h ?c  
對于非金屬材料而言,涉及材料納米級尺寸檢測、材料的表面形貌觀察與測量、涂鍍層表面形貌分析與鍍層厚度測量、材料的微區(qū)化學(xué)成分分析等。
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