SEM/EDX(形貌觀測、成分分析)掃描電鏡（SEM）可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像，EDX是借助于分析試樣發(fā)出的元素特征X X@za4d  
射線波長和強度實現(xiàn)的，根據(jù)不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡使用，可以對樣品進行微區(qū)成分分析。 #j'7\SV  
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服務內(nèi)容：1.材料表面形貌分析，微區(qū)形貌觀察   (-xVW#39  
          2.材料形狀、大小、表面、斷面、粒徑分布分析 e5(c,,/  
          3.薄膜樣品表面形貌觀察、薄膜粗糙度及膜厚分析 W&HxMi  
          4.納米尺寸量測及標示 lib}dk  
          5.微區(qū)成分定性及定量分析 C!Jy
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