morningtech:如果測量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 JYQ.EAsr!  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會帶來致密度比體材料還大。 TtZ}
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這點可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會測量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  O>%$q8x@i  

morningtech:如果測量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 Y{+3}drJE  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會帶來致密度比體材料還大。 ?Oc -