我用99.9%的TA靶材，離子濺射鍍制的TA2O5薄膜折射率為2.18（波長(zhǎng)633處），明顯高于理論值，請(qǐng)問有哪些可能的原因呢？

沒有鍍膜大師幫幫我解惑嗎？ };P=|t(r  
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你是怎么測(cè)量的折射率，用的是橢偏儀擬合還是光譜反算？ 1BEc"  

膜料的折射率都是一個(gè)參數(shù)一個(gè)結(jié)果，只要你測(cè)量或者計(jì)算得準(zhǔn)確就行，哪來什么理論值？

我愛小灰寶:你是怎么測(cè)量的折射率，用的是橢偏儀擬合還是光譜反算？ :!?Fq/!  
 (2019-07-27 16:48)  U
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用透射光譜擬合反算的。

yzhuang:膜料的折射率都是一個(gè)參數(shù)一個(gè)結(jié)果，只要你測(cè)量或者計(jì)算得準(zhǔn)確就行，哪來什么理論值？ (2019-07-31 11:03)  ,\a
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我這是把塊料的折射率當(dāng)作理論值，好像是2.06吧。

tcyt333:用透射光譜擬合反算的。 (2019-08-09 17:03)  @F$}/  

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如果測(cè)透過來計(jì)算光學(xué)常數(shù),無論TFC還是MAC用透過或者反射計(jì)算參數(shù)的前提是  透過儀和反射儀相當(dāng)?shù)木珳?zhǔn),如果不精準(zhǔn)不如用膜料庫(kù)自身,特別是目前用透過率計(jì)算,國(guó)產(chǎn)透過議也就能測(cè)測(cè)產(chǎn)品,計(jì)算參數(shù)還是算了,透過儀如果精度差(這個(gè)精度相對(duì)誤差非常小才行),折射率有可能高有可能低,然后影響你整個(gè)帶寬.

knight627:如果測(cè)透過來計(jì)算光學(xué)常數(shù),無論TFC還是MAC用透過或者反射計(jì)算參數(shù)的前提是  透過儀和反射儀相當(dāng)?shù)木珳?zhǔn),如果不精準(zhǔn)不如用膜料庫(kù)自身,特別是目前用透過率計(jì)算,國(guó)產(chǎn)透過議也就能測(cè)測(cè)產(chǎn)品,計(jì)算參數(shù)還是算了,透過儀如果精度差(這個(gè)精度相對(duì)誤差非常小才行),折射率有可能高有 .. (2019-08-13 09:42)  '/9j"mIA9$  

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我用woollam橢偏儀測(cè)得的折射率也是2.16，跟光譜擬合的2.18接近，應(yīng)該是可信的。主要就是請(qǐng)教折射率偏高的原因和改良措施有哪些。

橢偏儀測(cè)出來也有誤差,TA2O5料不象ti3o5,建議你可以從新找一臺(tái)非常好的透過儀從新測(cè)量石英基底和鍍膜后的石英 透過率,如果是MAC盡量在9個(gè)極值左右.當(dāng)然只是我個(gè)人平時(shí)得出的結(jié)論,并不一定適合你遇到的情況,通常不會(huì)比軟件里膜料折射率高,我遇到高的主要是以前是SIO2堆密度做不上去,受潮后折射率變高.

如果測(cè)量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 $3>Rw/,  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會(huì)帶來致密度比體材料還大。 S}U_uZ$b  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。 ^"