薄膜對光有反射，透過，吸收，散射等作用。 qI:wm=  
薄膜發(fā)霧（對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過）一般是因為散射。 h#9)M  
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學(xué)近似 /8R1$7  
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過渡面），粒子（結(jié)晶） /@e\I0P^  
表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。 >[U$n.  
界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來改善。 z/=v@@tj  
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來調(diào)整結(jié)晶大小。 !b=$FOC>