薄膜對光有反射，透過，吸收，散射等作用。 UDL RCS8i  
薄膜發(fā)霧（對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過）一般是因為散射。 ;-Jb1"5  
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學近似 o,P.&m{?  
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過渡面），粒子（結(jié)晶） W mm4hkf  
表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的，適當提高真空度可以改善。 5
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界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來改善。 >B>CB3U  
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來調(diào)整結(jié)晶大小。 1NcCy!+  
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具體問題具體分析，這個需要自己來判斷。其實解決問題的過程，也是自我學習自我提高的過程。

學習了

很實用的東西，學習了

王工，關(guān)于發(fā)霧，有兩個問題搞不明白， dXn%lJ  
1、做離子源透亮產(chǎn)品，有時會遇到內(nèi)圈霧，外圈亮的狀況，很難說清楚是怎么回事，離子源參數(shù)已經(jīng)調(diào)到最大，溫度差異也不大，10度以內(nèi)，有時真空度都調(diào)到了8.0E-4Pa,都改善不大； s9oO%e<  
2、離子源發(fā)霧工藝，最外圈會出現(xiàn)一般霧一半不霧的情況，下半部分更透亮，這種情況一直都在，有時輕有時嚴重，調(diào)過很多次，徹底解決不了。 U,Mx@KdV  
麻煩您幫忙給分析下，對了，機器是新柯隆1350

離子源能量大了也會發(fā)霧的。 ~np,_yI  
另外，你們用的是原裝離子源配件吧？ N:"C+a(  
副廠件不光是壽命，離子分布的均勻性也有問題。 \/|)HElKR  
（原廠柵網(wǎng)在出廠前會測離子分布，然后根據(jù)分布再開預(yù)備孔） +!0eu>~_&  
NcM>{{8  
溫度不光是加熱絲的加熱溫度，離子源轟擊其實對鏡片也有加熱作用的。 |3? 8)z\n  
我覺得你們是否離子源能量加的太大了。 :"o o>  
還有，中和器電流一般要設(shè)到離子源電流的2倍。 l\$+7|W  
中和器電流過小也會造成離子分布的不均勻。

非常感謝您的解析！