薄膜對(duì)光有反射，透過(guò)，吸收，散射等作用。 w QwY_ _  
薄膜發(fā)霧（對(duì)于因?yàn)榛�板本身臟或者帶電吸附粉塵等問(wèn)題此處略過(guò)）一般是因?yàn)樯⑸洹?span style="display:none"> H`B%6S/  
;I]TM#qGF  
散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學(xué)近似 KmpX^Se[  
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過(guò)渡面），粒子（結(jié)晶） nM\Wa  
表面和界面發(fā)生的散射一般是因?yàn)檎婵斩冗^(guò)低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。 h4!
$,%"''  
界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來(lái)改善。 G;wv.|\  
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來(lái)調(diào)整結(jié)晶大小。 NAHQ:$  
2>?GD@GE  
具體問(wèn)題具體分析，這個(gè)需要自己來(lái)判斷。其實(shí)解決問(wèn)題的過(guò)程，也是自我學(xué)習(xí)自我提高的過(guò)程。

學(xué)習(xí)了

很實(shí)用的東西，學(xué)習(xí)了

王工，關(guān)于發(fā)霧，有兩個(gè)問(wèn)題搞不明白， TS-m^Y'R  
1、做離子源透亮產(chǎn)品，有時(shí)會(huì)遇到內(nèi)圈霧，外圈亮的狀況，很難說(shuō)清楚是怎么回事，離子源參數(shù)已經(jīng)調(diào)到最大，溫度差異也不大，10度以內(nèi)，有時(shí)真空度都調(diào)到了8.0E-4Pa,都改善不大； ++Az~{W7  
2、離子源發(fā)霧工藝，最外圈會(huì)出現(xiàn)一般霧一半不霧的情況，下半部分更透亮，這種情況一直都在，有時(shí)輕有時(shí)嚴(yán)重，調(diào)過(guò)很多次，徹底解決不了。 /DZKz"N  
麻煩您幫忙給分析下，對(duì)了，機(jī)器是新柯隆1350

離子源能量大了也會(huì)發(fā)霧的。 w}oH]jVKL6  
另外，你們用的是原裝離子源配件吧？ mZMLDs:  
副廠件不光是壽命，離子分布的均勻性也有問(wèn)題。 EC?!%iO`  
（原廠柵網(wǎng)在出廠前會(huì)測(cè)離子分布，然后根據(jù)分布再開(kāi)預(yù)備孔） vHJ