性能說明： xHi.N*~D  
Quartz晶體感應(yīng)片是至今為止制造的電氣產(chǎn)品中最敏感的產(chǎn)品。用于薄膜涂層時可以檢測到1微微米（1兆分之1）大小的范圍。這類似于1原子厚度的涂膜層。同時，晶體對熱很敏感，可以對1/100度以下的溫度變化作出反應(yīng)。并且，Quartz晶體感應(yīng)片在完成階段中對應(yīng)力反應(yīng)敏感，可以探測到原子的移動，這一原子的移動是在典型的光學鍍膜作業(yè)中，鍍膜于晶體上的薄膜發(fā)生冷卻時發(fā)生。你也許會對像光學鏡片鍍膜一樣的大規(guī)模作業(yè)中用這種敏感的感應(yīng)片怎樣進行作業(yè)產(chǎn)生疑問。 b]xE^zM-I`  
簡單地說可以勉強地進行作業(yè)。除了GOLD及鋁或SILVER一樣應(yīng)力低的物質(zhì)以外，其他大部分的鍍膜工藝立即就能把感應(yīng)片毀壞。像MgF2那樣代表性的防止反射鍍膜工藝是用高溫（超過300度）和高的應(yīng)力（晶體上鍍膜的薄膜冷卻時發(fā)生）給感應(yīng)片雙重致命打擊。晶體暫時裸露在MgF2時可以看到在RATE或厚度上以陽離子形式進行不規(guī)則反應(yīng)的情況。像Zirconium或chromium一樣應(yīng)力高的金屬膜也是一樣的。 _!Ir|j.A  
注意事項： ?S~j2 J]
 
（1）    絕對不能觸摸感應(yīng)片的中間部位：因這一部位是活躍的震動部位。任何油跡或灰塵及擦傷都能引起感應(yīng)片造成震動能力下降。操作時要使用塑膠夾子夾住感應(yīng)片邊緣。 O#B2XoZa+  
（2）    2清潔感應(yīng)片托架，防止感應(yīng)片的前后中央部分接觸任何物質(zhì)。并且，放入感應(yīng)片時感應(yīng)片和托架之間如果進入異物或產(chǎn)生任何缺陷都會防礙電極的接觸，并且發(fā)生涉及到感應(yīng)片震動形態(tài)的應(yīng)力點 QK@[b3-h1  
（3）    3放入托架內(nèi)以后盡量用輕微的AIR噴射器（過濾過的沒有油水的空氣）進行吹氣操作，清除作業(yè)時不小心粘在感應(yīng)片上的微小鍍膜碎片或灰塵。 db0]D\  
（4）    4感應(yīng)片的HEAD應(yīng)該用充分的攝氏20-50度的冷卻水保持。 eeu;A
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不論任何溫度能夠保持1-2度以內(nèi)的溫度變化就能得到好的結(jié)果。并且溫度越高，附著力越強，所以感應(yīng)片盡可能達到50度。這樣鍍膜層覆蓋于晶體的效果才更好。

磁控濺射原理電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動，該電子的運動路徑很長，在運動過程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經(jīng)過多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛，遠離靶材，最終沉積在基片上。 磁控濺射就是以磁場束縛和延長電子的運動路徑，改變電子的運動方向，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。電子的歸宿不僅僅是基片，真空室內(nèi)壁及靶源陽極也是電子歸宿。但一般基片與真空室及陽極在同一電勢。磁場與電場的交互作用（ E X B drift）使單個電子軌跡呈三維螺旋狀，而不是僅僅在靶面圓周運動。至于靶面圓周型的濺射輪廓，那是靶源磁場磁力線呈圓周形狀形狀。磁力線分布方向不同會對成膜有很大關(guān)系。 在E X B shift機理下工作的不光磁控濺射，多弧鍍靶源，離子源，等離子源等都在次原理下工作所不同 \S[I:fw#&  
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（1） 操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說明書。 （2） 冷卻水水壓應(yīng)保持0.1～0.2 Mpa之間，出水溫度≤45℃。 （3） 壓縮空氣壓力在0.4～0.5 Mpa之間。 （4） 每爐開機前，要檢查保護氣的氣瓶容量，以免氣體充不足，更換氣瓶。 （5） 開機后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機查找原因。 （6） 經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。 （7） 設(shè)備停止使用時，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長時間不用，要充入保護性氣體，并把設(shè)備水冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。 （8） 機械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時一定要把廢油放干凈。 （9） 擴散泵換油時，內(nèi)部如有氧化，要把擴散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。 （10）充入的保護性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。 （11）本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護氣氛。 （12）設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用油的抹布擦拭。 （13）氣動系統(tǒng)的氣動三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴散泵油。 （14）設(shè)備的整機電壓要保證在350～420 V范圍內(nèi)。三相要平衡。 （15）規(guī)管、電接點壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴散泵油，使之與座之間形成一層油膜，防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長期使用真空封泥密封。 （16）各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動，及時擰緊。 （17）設(shè)備工作時，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時發(fā)現(xiàn)異常，找出問題。 （18） 設(shè)備的使用環(huán)境，在相對濕度85%以下，溫度在10～40℃。在拆修設(shè)備時，各部分不許用重錘敲擊。

真空泵油的使用注意事項 ;?.w!|6