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    [求助]關(guān)于磁控濺射薄膜表面的平整度? [復(fù)制鏈接]

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    離線mainbomb
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2006-12-11
    一般的磁控濺射儀器對薄膜的表面能達到什么量級的平整度? W9NX=gE4  
    quY:pqG38q  
    如果在兩次相同的條件下,表面的平整度差別比較大可能是什么原因引起的呢? McB[|PmC  
    q, O$ %-70  
    非常感謝!!
     
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    離線mainbomb
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-03-11
    這么久了還是沒人理啊
    離線j123456789
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-04-09
    你指的是表面粗糙度 還是其它意思?