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    [求助]關于磁控濺射薄膜表面的平整度？ [復制鏈接]

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    離線mainbomb
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2006-12-11
    一般的磁控濺射儀器對薄膜的表面能達到什么量級的平整度？ tZ4Zj`x|^  
    ~m0l_:SF  
    如果在兩次相同的條件下，表面的平整度差別比較大可能是什么原因引起的呢？ *(c><N  
    (}^Qo^Vr  
    非常感謝�。�
     
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    離線mainbomb
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-03-11
    這么久了還是沒人理啊
    離線j123456789
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-04-09
    你指的是表面粗糙度 還是其它意思?