什么是飛秒激光?
飛秒激光脈沖可以從兩種材料之間的界面或任何非中心對稱的材料中產(chǎn)生少量的二次諧波光。產(chǎn)生的二次諧波光信號可以無損檢測和成像半導(dǎo)體晶圓表面上下的特征,例如結(jié)構(gòu)缺陷、薄膜質(zhì)量,甚至微量金屬污染。
高數(shù)值孔徑光學(xué)器件將飛秒激光束聚焦到微小的腰部,超快脈沖的峰值功率足以驅(qū)動雙光子吸收。增材制造技術(shù)可提供亞微米空間分辨率,并可創(chuàng)建小至 100 nm 的特征。由 Wildman 實(shí)驗(yàn)室/諾丁漢大學(xué)提供。 雖然 SHG 和 THG 顯微鏡需要飛秒激光,但在可見光或紫外線波長下工作的連續(xù)波激光也可以激發(fā)這些天然熒光團(tuán),但會以一定的成像深度和細(xì)胞損傷的可能性為代價。因此,飛秒激發(fā)的優(yōu)勢是顯而易見的。 關(guān)鍵的內(nèi)源性熒光團(tuán)包括還原型煙酰胺腺嘌呤二核苷酸 (NADH) 和黃素腺嘌呤二核苷酸 (FAD)——可用作癌癥特征的代謝物。眾所周知,癌細(xì)胞優(yōu)先使用糖酵解而不是氧化磷酸化來滿足其能量需求。當(dāng)比較正常細(xì)胞和癌細(xì)胞時,這表現(xiàn)在 NADH 與 FAD 的比率存在明顯差異。NADH 被 700 至 800 nm 波長的雙光子吸收有效激發(fā),F(xiàn)AD 的吸收光譜延伸至 890 nm。 利用這些代謝物的早期研究依賴于兩種不同的超快激光波長,這對于診斷或護(hù)理點(diǎn)工作是不切實(shí)際的。幸運(yùn)的是,在過去的幾年里,研究人員已經(jīng)證明,在 780 到 800 nm 窗口中運(yùn)行的單個超快激光器可以以相似的效率激發(fā)和成像這兩種物種,因?yàn)?nbsp;NADH 更強(qiáng)的熒光也可以在“紅色”處激發(fā)其頻譜的盡頭。此外,同樣的研究人員證明,以這種方式獲得的 NADH/FAD 比率是兩種不同前列腺癌細(xì)胞系2的可靠標(biāo)志物。 同樣,在 780 nm 下工作的最新緊湊型飛秒激光器非常適合這一潛在非常重要的應(yīng)用。與雙光子聚合一樣,無標(biāo)記體內(nèi)成像的其他相關(guān)激光參數(shù)包括出色的光束質(zhì)量以最大限度地提高空間分辨率、短脈沖寬度以最大限度地降低熒光所需的平均激光功率,以及用于簡化掃描過程的內(nèi)部功率控制——例如,用于光柵掃描期間的消隱。 先進(jìn)的晶圓計(jì)量 事實(shí)證明,超快激光器在先進(jìn)晶圓計(jì)量領(lǐng)域也越來越重要。一套成熟的技術(shù),稱為皮秒激光聲學(xué) (PLA),可測量層厚度并對不透明層下的關(guān)鍵對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行成像。后一種能力在多層光刻工藝中很重要。 在 PLA 方法中,激光脈沖(即泵浦)的吸收產(chǎn)生從激光表面向內(nèi)傳播的聲波。下層和結(jié)構(gòu)將其中一些聲能反射回表面,在表面通過第二個激光脈沖(即探頭)的反射率變化來檢測。 |
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風(fēng)聆:學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)(2022-09-13)
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