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光行天下 -> 光學(xué)檢測、光學(xué)測量與光機(jī)裝調(diào) -> 點(diǎn)衍射干涉檢測技術(shù) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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200833

2017-07-31 11:37

點(diǎn)衍射干涉檢測技術(shù)

本文介紹了點(diǎn)衍射干涉儀不同發(fā)展階段的特點(diǎn)和應(yīng)用。點(diǎn)衍射干涉儀由波長量級(jí)的針孔產(chǎn)生高質(zhì)量的球面波作為參考波前，能夠得到衍射極限性能的分辨率。按照不同的光路特點(diǎn)，點(diǎn)衍射干涉儀可分為點(diǎn)衍射共路干涉和點(diǎn)衍射非共路干涉兩種結(jié)構(gòu)，主要應(yīng)用于高精度波前檢測和面形檢測。共路干涉結(jié)構(gòu)簡單緊湊，對(duì)環(huán)境振動(dòng)不敏感，對(duì)光源相干度要求不高，可利用光束偏振態(tài)及光柵衍射分束的特性對(duì)傳統(tǒng)點(diǎn)衍射板進(jìn)行改造，在全共路點(diǎn)衍射干涉儀中引入時(shí)間相位調(diào)制技術(shù)和干涉對(duì)比度可調(diào)技術(shù)，可進(jìn)一步提高波前檢測精度。采用反射式針孔和各種光纖結(jié)構(gòu)發(fā)展了非共路點(diǎn)衍射干涉儀，實(shí)現(xiàn)了大口徑、高精度球面反射鏡面形的測量。本文重點(diǎn)闡述了用于極紫外光刻投影物鏡中高精度球面反射鏡面形檢測的反射式針孔點(diǎn)衍射干涉儀，并展望了點(diǎn)衍射檢測技術(shù)在生物檢測等領(lǐng)域的應(yīng)用前景和發(fā)展趨勢。

小越哥	2018-01-22 16:48
很好的資源

bairuizheng	2018-01-22 21:19
很好的資源

yangtt	2018-09-11 10:21
是根據(jù)干涉條紋來測面型的嗎

yangtt	2018-09-11 10:23
怎么解壓不了 Bus]OF>hu

jsdyf	2018-09-15 23:30
好資料下載看看

ccje	2018-11-25 14:12
很好的資源

suyb2015	2018-12-21 09:29
了解下

leonova	2019-01-10 10:42
是根據(jù)干涉條紋來測面型的嗎？

leonova	2019-01-10 10:42
看一下,學(xué)習(xí)了 T[<554

苗苗	2019-01-10 16:29
不錯(cuò)哦

路飛	2019-04-01 15:25
渴望了解，謝謝樓主

snowrun	2021-07-15 08:36
看一下,學(xué)習(xí)了 eaDR-g"

sunlingdwy	2021-11-26 23:18
好東西，正好需

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