VirtualLab示例_大角度光圖案的生成
應(yīng)用VirtualLab Fusion優(yōu)化高數(shù)值孔徑衍射光學(xué)元件 p& XuNk
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大角度光圖形可用于： 1i qgTi>
■信息顯示 N}z]OvnZH
■ 測(cè)量標(biāo)記 Xa}y.qH
■激光表演 %MtaWZ
■ 運(yùn)動(dòng)控制設(shè)備 ,uO?f1
■ 線性投影設(shè)備 Ey& A\
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運(yùn)用衍射光學(xué)元件(DOEs)可以生成任意的大角度二維光圖案，也稱為計(jì)算機(jī)制全息圖、相位板以及開(kāi)諾全息照片(見(jiàn)1)。將高數(shù)值孔徑圖案投影到一個(gè)平面上去會(huì)出現(xiàn)枕形失真以及隨角度的增大輻照度下降，在設(shè)計(jì)過(guò)程中必須對(duì)此予以補(bǔ)償 5 a&a-(
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圖1.通過(guò)大角度衍射分束元件產(chǎn)生的斑點(diǎn)圖案。全視場(chǎng)70°。衍射光學(xué)元件的特征尺寸小到450nm。 [mUC7Kpi
VirtualLab 為用戶提供了功能強(qiáng)大且用戶界面友好的工具用于大角度衍射光學(xué)元件的設(shè)計(jì)，其功能涵蓋了從系統(tǒng)設(shè)計(jì)到加工數(shù)據(jù)的輸出的整個(gè)設(shè)計(jì)過(guò)程： l0!`>Xx[b
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■ 功能強(qiáng)大的設(shè)計(jì)算法：迭代傅里葉變換算法和參數(shù)優(yōu)化； yF
XPY=EQ
■ 失真和輻照度損失的預(yù)補(bǔ)償（見(jiàn)圖2）； tPJU,e)
■ 以多種格式導(dǎo)出加工數(shù)據(jù)，如STL和GDSII。 eZpi+BRS6
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■ 示例.385: 高數(shù)值孔徑模型擴(kuò)散器的優(yōu)化 。 }z-)!8vF
■ 示例.386: 高數(shù)值孔徑衍射分束器的設(shè)計(jì) 。 noW wX
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圖2.a) 通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)生成大角度光圖案后顯示的典型枕形失真；b)利用VirtualLab Fusion在設(shè)計(jì)過(guò)程中可以補(bǔ)償幾何畸變。 <UwA5X`0e.
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