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2006-09-29 00:33 |
激光測(cè)量在數(shù)控機(jī)床定位中的應(yīng)用
雙頻激光干涉儀是當(dāng)代國(guó)際機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定使用的數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)驗(yàn)收的測(cè)量設(shè)備,本文就如何應(yīng)用雙頻激光干涉儀檢驗(yàn)數(shù)控也庫(kù)的定位精度進(jìn)行了討論。 g0&Rl /`x)B(b 1.測(cè)量隱理 Q=!f, =#Qm D= 由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束,經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線(xiàn)偏振光束,經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測(cè)器接收作為參考訊號(hào),其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直,被干涉鏡接收反射到光電檢測(cè)器上。機(jī)床運(yùn)動(dòng)使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對(duì)位移,兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng),產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測(cè)器接收到的頻率訊號(hào)(f1-f2±Δf)和參考訊號(hào)(f1-f2)被送到測(cè)量顯示器,經(jīng)頻率放大、脈沖計(jì)數(shù),送人數(shù)字總線(xiàn),最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理,得到所測(cè)量的位移量,即可評(píng)定數(shù)控機(jī)床的定位精度。 LqOjVQxz ~p'DPg4 2.測(cè)量方法 P?Fm<s: 45DR%cz (1)安裝雙頻激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)各組件。 gL-\@4\wc (2)在需測(cè)量的機(jī)床坐標(biāo)軸線(xiàn)方向安裝光學(xué)測(cè)量裝置。 P-*=e8z{ (3)調(diào)整激光頭,使雙頻激光干涉儀的光軸與機(jī)床移動(dòng)的軸線(xiàn)晝?cè)谝粭l直線(xiàn)上,即將光路調(diào)準(zhǔn)直。 OM4q/!)A] (4)待激光預(yù)熱后輸入測(cè)量參數(shù)。
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