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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點！ [點此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

即興以來 2015-08-01 20:15

PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點！

現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個過程中溫度未超過50℃。 9b !+kJD  
求大神指點，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！ nFlj`k<]Y  
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yzhuang 2015-08-19 14:06
不用離子源嗎？用了離子源后50度咋可能控制在50度？除非設置離子源的功率特小，要不離子源的溫升效果也很明顯呀
即興以來 2015-08-19 14:48
離子源的功率較低，所以整個鍍膜過程中溫升不明顯。
dumoty 2015-08-21 13:20
鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。
woshiyiyun 2015-08-30 17:46
膜層與基底結合力不夠
即興以來 2015-09-06 20:42
dumoty:鍍膜前基板要清洗，然后退火2-3h，鍍完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  &6MGPh7T  
t22BO@gt74  
請問鍍膜前怎么清洗，嘗試過用酒精，不行！ =YZp,{T  
謝謝！
即興以來 2015-09-06 20:43
woshiyiyun:膜層與基底結合力不夠 (2015-08-30 17:46)  Cl<` uW3  
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