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ilyzxw 2006-09-08 14:32

真空泵原理

  工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍 ds(?:zx#  
幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍： V@G#U[D  
旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴(kuò)散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa zKO7`.*  
  幾種常用真空泵的工作原理 K