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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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dumoty

2015-04-21 21:32

在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固

在PMMA基底上鍍AR膜系，905nm增透。
基片經(jīng)超聲波中性洗劑清洗后，放在恒溫箱中75℃，退火2h；在光馳機器中不加熱，開離子源，真空抽至2E-3開始鍍（Ta2O5/石英環(huán)）。
出鍋后，基片上的膜層就出現(xiàn)明顯裂痕。
基片翻面放進機器，降低鍍石英環(huán)的離子轟擊能量，并在出鍋后，直接放入恒溫箱中75℃退火2h。結果是基片沒有裂痕，但膜層一擦就掉。
請教下各位，應該怎樣有效的降低PMMA的內(nèi)應力，工藝上有哪些不當?shù)牡胤较Ｍ梢圆涣哐赞o予以指正，謝謝！

mang2004	2015-04-22 04:56
供參考：覺得基底要加熱，~50C.

coa520	2015-04-28 11:34
這個沒什么復雜的 uES\|jU{]b

馬上登錄哦哦	2015-04-29 08:46
做個記號~

ajijipi	2015-04-29 13:04
學習一下

dumoty	2015-05-01 09:44
coa520:這個沒什么復雜的 bXSsN\:Y@[ (2015-04-28 11:34) >?-etl ;DQ{6( 求指教

即興以來	2015-07-23 23:59
我最近也在做這個，求大神指教

luozhenbob	2015-07-24 07:48
求教，學習

luozhenbob	2015-07-24 08:39
樓主，最終是什么問題，解決了嗎？

即興以來	2015-08-02 23:24
目前還沒解決求大神指點 ['<Q402:. 謝謝！ $1aJdZC7

即興以來	2015-08-02 23:25
coa520:這個沒什么復雜的 Z<P?P` (2015-04-28 11:34) ,.<[iHC}9 "3&bh>#qY 求大神指點 o\TXWqt 非常感謝！

即興以來	2015-08-02 23:25
luozhenbob:樓主，最終是什么問題，解決了嗎？ (2015-07-24 08:39) hifC.guK 4[XiD* * 目前還沒解決 EGL7z`nt 求大神指點！ r\j*?m ] 謝謝 srGF=1_

即興以來	2015-08-03 11:03
馬上登錄哦哦:做個記號~ (2015-04-29 08:46) _@D"XL#L Vpe\Okt: 請問什么意思？能否細說一下 ^//`Dz 謝謝！

西北風	2015-09-18 10:50
解決了嗎？如沒有，可以聯(lián)系我QQ2860598589

波哥	2015-11-07 16:13
用鎢舟。

725514453	2015-11-12 07:19
學習學習

譚健	2015-11-12 07:49
這個沒什么復雜的

suninrain	2015-11-14 00:01
離子源調好即可 V$g!#V )S^[b2P]y_ 內(nèi)容來自[手機版]

xiaochen703	2015-11-16 14:05
請問樓主基底經(jīng)過加硬處理嗎

囊中蓄乾坤	2018-05-15 12:13
有沒有解決辦法，現(xiàn)在也遇到這個問題了。60恒溫2小時，鍍膜出來還是掉膜嚴重。

光跡	2018-05-19 11:55
工藝條件再說詳細一點，第一層是什么膜料，蒸鍍過程是否離子源一直輔助，脫膜現(xiàn)象是否有傘架位置之分等等

liuniansheng	2018-06-10 23:13
大家一起研究一下

囊中蓄乾坤	2018-06-11 07:05
基片加硬的問題，剛剛遇到過的，亞克力的鍍完膜層不牢，后來，退客戶端他們加硬后就OK了。至于怎么加硬就不太清楚了。

harryzeng

2018-06-12 11:02

PMMA本身鍍增透就有點自相矛盾的，基板與膜料結合不好，要增加結合效果就要表面增加粗糙度，增加粗糙度就會對產(chǎn)品透過有影響。之前有想買臺灣的一種設備來增加表面粗糙度，后面也是不了了之。PMMA在鍍膜這塊確實不好解決，膜裂可以搞，但是脫膜不好搞，脫膜搞好，增透就不好搞，而且鍍膜后產(chǎn)品儲存要求較為苛刻。要想解決脫膜就表面霧化，霧化程度自行實驗吧——霧化程度不影響預期增透效果。希望樓主解決后分享一下

囊中蓄乾坤	2018-06-13 23:58
基片加硬才行，剛試過了，總是脫膜，加硬后沒有問題

dumoty	2018-08-09 11:11
SiO打底200nm，石英環(huán)/Ti3O5，4層，離子輔助沉積 QovxRO6 冷鍍不加溫，抽一個半小時 l{Xy %8 基片超聲波清洗，洗后75°退火2小時 &F.LM 鍍完再退火2小時

rexchou	2018-08-11 00:19
dumoty:SiO打底200nm，石英環(huán)/Ti3O5，4層，離子輔助沉積 !H(V%B% 冷鍍不加溫，抽一個半小時 :Fi$-g 基片超聲波清洗，洗后75°退火2小時 ?I7%ueFY 鍍完再退火2小時 (2018-08-09 11:11) Muok">#3. }LryRcrD-n 好繁瑣的過程

knight627	2018-08-11 14:06
換種新膜料,一步搞定膜裂!當然還得退火處理!幾種塑料PC PMMA 還有E48R 退火條件有區(qū)別!

bbbaaa	2018-08-17 23:19
謝謝分享

xtzxwwb	2018-09-06 13:57
看看是什么原因

chenliang1990	2018-09-06 18:14
怎么解決呢？

zqfid536	2018-09-16 22:20
工藝很重要

小小�！怆�	2018-10-11 15:58
才看到樓主的帖子，（雖然樓主這個帖子時間很久了） Svm'ds7> 樓主，我最近接觸這個材料的鍍膜，也是PMMA（700nm增透），鍍膜的話容易膜裂（主要是高溫會導致膜裂>80C°） d?A!0;(* 是不是可以降低恒溫箱的退火溫度來試試

knight627

2018-10-12 14:34

小小�！怆�:才看到樓主的帖子，（雖然樓主這個帖子時間很久了） ~r&+18Z;
樓主，我最近接觸這個材料的鍍膜，也是PMMA（700nm增透），鍍膜的話容易膜裂（主要是高溫會導致膜裂>80C°） H.&"~eH
是不是可以降低恒溫箱的退火溫度來試試 (2018-10-11 15:58) _J>!K'Dz

第一層加50-100A SIO打底,或者直接換膜料,都可以解決膜裂問題

光跡	2019-11-26 19:39
在你現(xiàn)有的工藝基礎上，打底一層薄的SIO

op1163	2019-11-27 22:16
提高一下，加工工藝條件。

dumoty	2019-12-05 16:41
問題已解決，方案在25樓

morningtech	2019-12-08 12:07
樓主做事有始有終，必須贊一個。

嚶?lián)糸L空	2020-06-20 10:27
正在做冷度ar，離子源輔助（O2），鍍sio2的時候不開離子源比開離子源膜強度要高，但依舊達不到要求，膜層易脫落，用指甲就螚把膜層刮下來，暫未解決

sosjinyan	2020-06-29 18:02
knight627:第一層加50-100A SIO打底,或者直接換膜料,都可以解決膜裂問題 (2018-10-12 14:34) 3#Xv))w1 _ECH( SIO 這個試過幾次鍍10nm，效果沒有改善。可能是SIO 這個料不太好用，光斑用的60 60，電流100mA 沒有融料痕跡。這個料需求預融嗎？具體怎么使用？多謝賜教！

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在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固

在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固