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光行天下 -> 光學薄膜設計,工藝與設備 -> 關于極值法控制膜厚 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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矮子lr

2006-09-05 12:56

關于極值法控制膜厚

初學者,請教各位大俠一個問題:
在鍍制非λ/4雙層增透膜時,如采用極值法控制膜厚,在鍍第一層和第二層時,是否要改變控制波長?若是,這樣上批量時,是否會因為反復調(diào)整光柵單色儀控制波長而降低光柵單色儀精度呢?可否在鍍制非λ/4雙層增透膜時(用光控),不用改變控制波長來控制膜厚呢?若可行的話,請問該怎樣做呢?

dinghaiyi	2006-09-11 16:45
要改變控制波長

矮子lr	2006-09-12 23:15
謝謝dinghaiy給我的回答i,那會影響單色儀的精度嗎?

lingwei104	2013-07-31 10:34
來學習

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