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春頭

2014-06-13 22:23

光學(xué)元件拋光亞表面損傷實(shí)驗(yàn)研究

摘要：設(shè)計(jì)光學(xué)元件拋光亞表面損傷檢測(cè)實(shí)驗(yàn)，使用原子力顯微鏡(AFM)檢測(cè)傳統(tǒng)拋光亞表面塑性劃痕與磁流變拋光亞表面塑性劃痕的最大深度，通過(guò)比較驗(yàn)證磁流變拋光對(duì)亞表面塑性劃痕的抑制能力;同時(shí)利用二次離子質(zhì)譜儀的深度剖析功能檢測(cè)磁流變拋光石英樣件后表面水解層的深度，指出磁流變拋光屬于低損傷性拋光技術(shù)。

關(guān)鍵詞：磁流變拋光；傳統(tǒng)拋光；亞表面損傷

藍(lán)色鳶尾花	2015-09-18 11:15
是什么？

kerberos110	2018-03-16 20:26
是什么？

wflney	2022-10-03 15:12
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí). 0cG'37[

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