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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 冷卻水對(duì)晶控的影響 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

liyungang 2014-02-10 10:20

冷卻水對(duì)晶控的影響

各位,冷卻水對(duì)晶控有多大影響,討論下。
morningtech 2014-02-13 18:59
對(duì)于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 %p 0xM  
正常流量情況下, N~xLu8,  
冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 Vkc#7W(  
冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。 PKzyV ;  
LoGVwRmoC  
上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控儀能實(shí)時(shí)監(jiān)測晶振片的損耗,膜層應(yīng)力對(duì)此值影響較大。 Dv/WE>?Aw  
另一方面,XDM-3K有額外付費(fèi)的厚度補(bǔ)償功能,正是為了補(bǔ)償溫度效應(yīng)帶來的厚度計(jì)算偏差。 :EA\)@^$R  
sgh920 2014-02-18 12:58
morningtech:對(duì)于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 mA=i)Ga  
正常流量情況下, W!>.$4Q9  
冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 HI11Jl}{  
冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。 | ]X  
....... (2014-02-13 18:59)  q CnZhJ  
9AJ7h9L  
請(qǐng)問多少度以下是溫度過低
morningtech 2014-02-19 09:47
sgh920:請(qǐng)問多少度以下是溫度過低 (2014-02-18 12:58)  2 Cv4=S  
2-Ej4I~  
沒有絕對(duì)的過低溫度,大概20度以下吧,還跟工藝有關(guān)。 ''\O v  
例如,鍍金屬,本身應(yīng)力不成問題,低水溫的影響就小些。 EH! q=&d  
鍍應(yīng)力大的介質(zhì)膜,水溫可適當(dāng)高一點(diǎn)點(diǎn)。有人做過試驗(yàn),將水溫提高到30度以上,晶振片的可使用壽命延長一倍。 .Lsavpo  
但正如前面所說,此時(shí)可能會(huì)帶來較大的頻率溫度效應(yīng),導(dǎo)致厚度準(zhǔn)確度有所下降。 =aBctd:eX`  
NP/Gn6fr  
XDM-3K晶控儀本身在晶振片的可使用壽命上來說,相同條件下,比常見的3x0系列要長一倍以上。操作上簡單得多就不用提了,呵呵。 2h1vVF3  
XDM-3K對(duì)頻率溫度效應(yīng)產(chǎn)生的厚度誤差可進(jìn)行補(bǔ)償,這是申請(qǐng)了國家發(fā)明專利的。當(dāng)然此補(bǔ)償功能額外付費(fèi),對(duì)擔(dān)負(fù)國家項(xiàng)目的高校和研究所另論,呵呵。 Ke2ccN  
morningtech.cn,有對(duì)該晶控儀稍詳細(xì)介紹。 J2xw) +  
liyungang 2014-02-19 11:23
morningtech:沒有絕對(duì)的過低溫度,大概20度以下吧,還跟工藝有關(guān)。 Af'" 6BS  
例如,鍍金屬,本身應(yīng)力不成問題,低水溫的影響就小些。 y}My.c  
鍍應(yīng)力大的介質(zhì)膜,水溫可適當(dāng)高一點(diǎn)點(diǎn)。有人做過試驗(yàn),將水溫提高到30度以上,晶振片的可使用壽命延長一倍。 w1OI4C)~  
但正如前面所說,此時(shí)可能會(huì)帶來較大的頻率溫度效應(yīng),導(dǎo) .. (2014-02-19 09:47)  l0PZ`m+;j  
CsoiyY -2  
我們的設(shè)備就是懷疑水溫有影響,廠家也說有這種可能。 }dWq=)*  
可有個(gè)奇怪的現(xiàn)象,我先鍍低折射率材料再鍍高折射率的材料,晶控顯示的和穩(wěn)定;但如果我先鍍高折射率在鍍低折射率交叉膜層的時(shí)候,顯示的就不穩(wěn)定,這該怎么解釋、?
morningtech 2014-02-19 17:04
liyungang:我們的設(shè)備就是懷疑水溫有影響,廠家也說有這種可能。 w$z}r  
可有個(gè)奇怪的現(xiàn)象,我先鍍低折射率材料再鍍高折射率的材料,晶控顯示的和穩(wěn)定;但如果我先鍍高折射率在鍍低折射率交叉膜層的時(shí)候,顯示的就不穩(wěn)定,這該怎么解釋、? (2014-02-19 11:23)  (Pf+0,2  
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鍍金之前通常要打底,解決的是牢固度的問題。 s:#V(<J  
你問題中可能的原因是二者附著牢固度不同,你的低折射率相當(dāng)于打底了。 g X ]-\  
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前面所謂有效的使用壽命,從晶振片的穩(wěn)定性上來分的。 b&~4t/Vq  
穩(wěn)定性,反應(yīng)的是晶振片諧振時(shí)的能量損耗。損耗越大,穩(wěn)定性越差。 z(_Ss@ $  
能量損耗牽涉到了膜層的結(jié)構(gòu)及應(yīng)力問題。附著不良,聲波傳遞中損耗大,穩(wěn)定性是會(huì)差一些。
liyungang 2014-02-20 17:37
morningtech:鍍金之前通常要打底,解決的是牢固度的問題。 e+$p9k~  
你問題中可能的原因是二者附著牢固度不同,你的低折射率相當(dāng)于打底了。 3 Nreqq  
前面所謂有效的使用壽命,從晶振片的穩(wěn)定性上來分的。 xy5lE+E_U  
....... (2014-02-19 17:04)