morningtech:對(duì)于AT切割晶振片,冷卻水溫度一般在20幾度。 mA=i)Ga 正常流量情況下, W!>.$4Q9 冷卻水溫度過低, 則晶振片上膜層應(yīng)力大,不利于鍍厚膜。 HI11Jl}{ 冷卻水溫度過高,雖可鍍膜厚增加,但晶振片溫度高,導(dǎo)致進(jìn)入較大的溫度頻率效應(yīng)區(qū)域,厚度精度將下降。 |]X ....... (2014-02-13 18:59) qCnZhJ
sgh920:請(qǐng)問多少度以下是溫度過低 (2014-02-18 12:58) 2 Cv4=S
morningtech:沒有絕對(duì)的過低溫度,大概20度以下吧,還跟工藝有關(guān)。 Af'" 6BS 例如,鍍金屬,本身應(yīng)力不成問題,低水溫的影響就小些。 y}My.c 鍍應(yīng)力大的介質(zhì)膜,水溫可適當(dāng)高一點(diǎn)點(diǎn)。有人做過試驗(yàn),將水溫提高到30度以上,晶振片的可使用壽命延長一倍。 w1OI4C)~ 但正如前面所說,此時(shí)可能會(huì)帶來較大的頻率溫度效應(yīng),導(dǎo) .. (2014-02-19 09:47) l0PZ`m+;j
liyungang:我們的設(shè)備就是懷疑水溫有影響,廠家也說有這種可能。 w$z}r 可有個(gè)奇怪的現(xiàn)象,我先鍍低折射率材料再鍍高折射率的材料,晶控顯示的和穩(wěn)定;但如果我先鍍高折射率在鍍低折射率交叉膜層的時(shí)候,顯示的就不穩(wěn)定,這該怎么解釋、? (2014-02-19 11:23) (Pf+0,2
morningtech:鍍金之前通常要打底,解決的是牢固度的問題。 e+$p9k~ 你問題中可能的原因是二者附著牢固度不同,你的低折射率相當(dāng)于打底了。 3 Nreqq 前面所謂有效的使用壽命,從晶振片的穩(wěn)定性上來分的。 xy5lE+E_U ....... (2014-02-19 17:04)