| jjk23h |
2014-01-23 16:14 |
晶振片使用說明及注意事項
一﹑晶振片的種類 3qi_]*dD
AW~"y I<
晶振片的電極對膜厚監(jiān)控至關重要，目前，市場上提供三種標準電極材料：金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學溫定性，易于沉積。金最適合于低應力材料，如金，銀，銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品，即使頻率飄移1MHz，也沒有負作用。然而，金電極不易彎曲，會將應力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會使晶振片跳頻和嚴重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。 b5pMq$UVL
`~h4D(n`
銀是接近完美的電極材料，有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而，銀容易硫化，硫化后的銀接觸電阻高，降低晶振片上膜層的牢固性。 +xp]:h|
40#9]=;}
銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料，適合高應力膜料的鍍膜監(jiān)控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。這些高應力膜層，由于高張力或堆積的引力，經(jīng)常會使晶振片有不穩(wěn)定，高應力會使基片變形而導致跳頻。 銀鋁合金通過塑變或流變分散應力，在張力或應力使基體變形前，銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應力。這使銀鋁合金晶振片具有更長時間，更穩(wěn)定的振動。實驗室的實驗表明鍍Si02用 銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長400%。 |QMA@Mx
l Y'N4x7n
晶振片的電極根據(jù)其外觀形狀分為單錨﹑雙錨﹑全雙錨，目前使用較多的為雙錨電極晶振片。 CPv iR<ms_
xWE 8W m
二﹑如何選用最合適的晶振片？ *1^$. Q &
%8mm Hh
鍍膜科技日新月異，對于鍍膜工程師來說，如何根據(jù)不同的鍍膜工藝選擇最佳的晶振片確實不易。下面建議供大家參考： $`ztiVu3
SfB8!V|;
1）鍍低應力膜料時，選擇鍍金晶振片 最常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu，這些膜層幾乎沒有應力，在室溫下鍍膜即可。膜層較軟，易劃傷，但不會裂開或?qū)桩a(chǎn)生負作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜，經(jīng)驗證明，可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。 S1b Au
<
8TWTbQ
2）使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應力膜層 Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應力，膜層容易從晶體基片上剝落或裂開，以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負變動。有時，這些情況可以容忍，但在一些情況下，會對蒸發(fā)源的功率控制有不良作用。 qX#MV>1
{]k aJ{U>
3）使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學透明區(qū)域或折射率特性，被廣泛用于光學鍍膜，但這些膜料也是最難監(jiān)控的，只有基底溫度大于200度時，這些膜層才會與基底有非常良好的結合力，所以當這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上，在膜層凝結過程會產(chǎn)生巨大的應力，容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。 這時候，選用合金晶振片將是最好的選擇，將大大減少調(diào)頻機會。實驗室顯示，使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂，有效壽命比鍍金的長100%。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50 度，晶振片的壽命更可以再延長一倍。 R7?29?$7
/ty?<24ko
三﹑晶振片的安裝及注意事項與技巧 P)6 lu8zQ
Z4hLdHo_
隨著鍍膜規(guī)格指標的需求日益嚴格，單靠光控已經(jīng)難以達到要求，晶振控制成為鍍膜必備的輔助或控制方法﹐如何正確有效地使用晶振片成為保證鍍膜質(zhì)量的重點。所以為了使晶振片壽命最長，下面一些方法和技巧供您參考： x83a!9
OH6^GPF6
1. 總是用攝子來挾住晶振片的邊緣，不要碰晶振片中心，因為晶振片振動的活躍中心，任何灰層，油污都會降低晶振片的振動能力。新的晶振片使用之前應在酒精(分析純即可)中浸泡1分鐘左右，之后用塑料鑷子夾取并用無塵紙或潔凈的綢布將酒精擦拭干凈，同時用蘸有酒精的無塵紙或綢布將晶振座擦拭干凈，組裝晶振片之前用吹氣球?qū)⒕д衿�、晶振座及探頭的接觸彈簧上可能殘留的灰塵、紙屑等吹掉﹐晶振片裝好后再一次用吹氣球吹晶振片的表面，去除散落的灰塵。切記不要用手指直接接觸晶振片以免留下油漬。 ~/-eyxLTm
{0v*xL_O^
2. 保持晶振片的清潔。不要讓鍍膜材料的粉末接觸晶振片的前后中心位置。任何晶體和夾具之間的顆粒或灰層將影響電子接觸，而且會產(chǎn)生應力點，從而改變晶體振動的模式。 p
&(OZJT
|L::bx(
3 .晶振座經(jīng)過多次鍍膜后其表面會沉積較厚的膜，如果不將其除去，由于離子轟擊產(chǎn)生的反濺射會影響晶振片的測試精度。可以先用噴砂或用打砂紙方法將膜層除去，之后用酒精浸泡5分鐘左右，如果能用超聲波振蕩清洗一下，效果會更好，最后再將其放入110℃烤箱中烘烤15分鐘，即可使用。 S VWIEH0?
bw4oLu?
4. 保持足夠的冷卻水使晶振頭溫度在20-50度。 如果可以將溫度誤差保持在1-2度范圍內(nèi)，效果更佳。 xT*d/Oa
| |