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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 如何計(jì)算材料的折射率 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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kevin980828	2005-09-03 22:26
如何計(jì)算材料的折射率在蒸鍍過程中材料的折射率怎樣能夠準(zhǔn)確算出,我知道折射率跟真空度.沉積速率.充氧量有關(guān),其它的還有嗎?那如何計(jì)算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,請(qǐng)各位大俠指教.謝謝!!!

flyinlove79

2005-09-04 11:07

蒸度鍍過程中適時(shí)手動(dòng)計(jì)算材料的折射率比較困難啊，個(gè)人認(rèn)為必須測(cè)準(zhǔn)適時(shí)的膜層厚度和反（透）射率，或者是在極值點(diǎn)處的反（透）射率，再利用公式進(jìn)行計(jì)算，但感覺不怎么實(shí)用�，F(xiàn)在的鍍膜設(shè)備，已經(jīng)可以自動(dòng)計(jì)算并顯示出適時(shí)的折射率了。
折射率還和基片溫度，沉積角度，膜層的微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)。
折射率測(cè)量一個(gè)是用橢偏儀直接測(cè)量，一個(gè)是用分光光度計(jì)測(cè)單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處的反（透）射率，再用公式計(jì)算的間接測(cè)量。

wendzb	2006-01-05 11:18
能詳細(xì)說下單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處透射率用公式計(jì)算的間接測(cè)量的過程么？？

wangda	2006-04-06 14:14
就是就是,知道的,與大家分享一下啊

tangzs

2006-05-05 23:11

鍍個(gè)較厚一點(diǎn)的單層膜，根據(jù)極值點(diǎn)（膜比基底折射率高的看極小值，膜比基底折射率低的看極大值，并且選取長(zhǎng)波段的極值點(diǎn)，因?yàn)樵陂L(zhǎng)波段折射率色散�。┕浪愠瞿拥恼凵渎�，該點(diǎn)的反射率，根據(jù)薄膜光學(xué)原理，相當(dāng)于單個(gè)四分之一光學(xué)厚度的膜厚（單層四分之一光學(xué)厚度的薄膜等效折射率為n^2/ng,n為膜的折射率，ng為基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判斷極值級(jí)次，根據(jù)這個(gè)級(jí)次就可算出膜厚�，F(xiàn)在舉一例子加深理解。