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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 求助各位鍍膜工程師前輩 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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cxc0816	2013-10-13 16:52
求助各位鍍膜工程師前輩鍍增透膜后的基底就像有一層霧一樣是什么原因，望各位前輩給小弟解答一下（多層膜，膜系al2o3 zro2 mgf2） dI'cZt~n 還有在鍍多層膜過程中，是否要對基底經(jīng)行全程烘烤以便保持基底溫度，鍍膜時間大約持續(xù)1小時

中國鍍膜人	2013-10-13 21:50
鍍灰了！找機器毛病

cxc0816

2013-10-15 09:36

中國鍍膜人:鍍灰了！找機器毛病 (2013-10-13 21:50) =!{7ZSu\

能講解的詳細點兒嗎，應(yīng)該從機器的什么方向改進，從溫度，真空度，還是電子槍蒸發(fā)速度，這個膜系制備過程中真空度平均在9*10-3pa左右，蒸發(fā)速度是al2o3 0.25nm/s ，zro2是0.15nm/s ，mgf2是1nm/s，還有在鍍膜全過程中是不是要求烘烤裝置全程打開對基底進行加熱。

yzhuang	2013-10-16 09:11
烘烤不能停，一停溫度就下降很快的，還有如果沒有離子源鍍膜溫度要接近３００度，因為ＭＧＦ２材料容易脫膜，還有你的真空度太低了，應(yīng)該不低于5*10-3pa，另外，如果是基底是ＺＦ料，這個材料組合可能不合適

cxc0816	2013-10-20 21:36
yzhuang:烘烤不能停，一停溫度就下降很快的，還有如果沒有離子源鍍膜溫度要接近３００度，因為ＭＧＦ２材料容易脫膜，還有你的真空度太低了，應(yīng)該不低于5*10-3pa，另外，如果是基底是ＺＦ料，這個材料組合可能不合適 (2013-10-16 09:11)