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2013-07-29 16:39 |
一種新穎的MEMS光開關(guān)測量平臺的設(shè)計與實現(xiàn)
1 引言 g
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隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū)動是目前廣泛研究的一種，常見的靜電驅(qū)動方式有：梳狀電極、SDA（scratch drive actuator）、懸臂驅(qū)動和扭臂驅(qū)動等。懸臂和扭臂驅(qū)動的驅(qū)動電壓高 于前兩者，但結(jié)構(gòu)簡單、工藝上容易實現(xiàn)。在選取其微反射鏡最佳工作狀態(tài)時，需要電壓、頻率，占空比連續(xù)可調(diào)的方波信號為激勵源。傳統(tǒng)的選取方法需要示波器、脈沖信號發(fā)生器，直流穩(wěn)壓源三臺儀器協(xié)調(diào)工作才能完成，并且存在諸多弊端，如：測量儀器成本高、操作繁瑣、測試周期長、測量精度低等。而在本文介紹的測量平臺中，通過高幅值利用單片機控制脈沖頻率的方法來選擇器件。與當(dāng)前同類方法相比，具有精度高、可靠性強、成本低、易操作等優(yōu)點。 ~<O7$~
2 光開關(guān)工作原理 4
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