| nancy-y |
2013-05-31 13:57 |
大口徑鏡片粗糙度測量難題
對于光學(xué)表面的評價，可以有兩個重要指標：表面面形和表面粗糙度。一般地，光學(xué)表面面形通過干涉儀來測量；而粗糙度一般采用光學(xué)輪廓儀或掃描探針顯微鏡測量。我們這里主要討論粗糙度的測量問題。 c@RT$Q9j
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對于小尺寸元件來說，這些方法都是可行的。然而，對于大尺寸元件，比如口徑大于300mm或500mm甚至1m的元件，很多方法都受到了測量環(huán)境的限制。 0n4g $JK7
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除粗糙度要求接近0.1nm RMS的表面外，一般光學(xué)表面都采用光學(xué)輪廓儀測量。這種方法比較直接，操作簡單。但是在使用中，都要求在隔振平臺。這是由于這類儀器的原理導(dǎo)致的，雖然是近距離的測量，但是振動會對這種納米級測量帶來噪聲誤差，從而導(dǎo)致測量失敗。 a$
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