亚洲AV日韩AV无码污污网站_亚洲欧美国产精品久久久久久久_欧美日韩一区二区视频不卡_丰满无码人妻束缚无码区_久爱WWW成人网免费视频


首頁 -> 登錄 -> 注冊(cè) -> 回復(fù)主題 -> 發(fā)表主題
光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計(jì) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁]

<<   1   2   3   4  >>  Pages: ( 4 total )

hhxxgg00 2013-04-02 09:09

光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)

隨著微電子產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,我國迫切需要研制極大規(guī)模集成電路的加工設(shè)備-光刻機(jī)。曝光波長為 193nm 的投影式光刻機(jī)因其技術(shù)成熟、曝光線寬可延伸至 32nm 節(jié)點(diǎn)的優(yōu)勢(shì)已成為目前光刻領(lǐng)域的主流設(shè)備。照明系統(tǒng)是光刻機(jī)的重要組成部分,其主要作用是提供高均勻性照明、控制曝光劑量和實(shí)現(xiàn)離軸照明,以提高光刻分辨率和增大焦深。論文以深紫外光刻照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)為研究方向,對(duì)照明系統(tǒng)關(guān)鍵單元進(jìn)行了光學(xué)設(shè)計(jì)與仿真研究。 d@l;dos),  
% idnm  
CAJ文件 %(e=Q^=  
長光機(jī)博士論文 DMf9wB  
xingyu4153 2013-04-02 09:20
長光機(jī)博士論文
drymatini 2013-04-02 09:29
好資料!
moth 2013-04-02 09:41
看看看················
姜守望 2013-04-02 12:11
頂一下,……
yu-xuegang 2013-04-02 12:33
頂一下,……
tmdapple123 2013-04-02 19:53
光幾所!哎
maiwudi 2013-04-02 20:36
看看啦
ciomp1312 2013-04-04 10:02
長光機(jī)博士論文
光學(xué)行當(dāng) 2013-04-04 13:52
看一看
winsword 2013-04-04 18:16
好東西啊
qq41894351 2013-04-04 20:11
不錯(cuò)哦,支持一個(gè)
q5909811 2013-04-04 20:49
呵呵 挺好的
mumapiaoyun 2013-04-04 21:36
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí),不錯(cuò)的東西
mumapiaoyun 2013-04-04 21:36
怎么看不了呢,呵呵
wxb5115 2013-04-05 21:31
好文要頂
sudax 2013-04-06 12:52
看看。。。
sudax 2013-04-06 12:53
sudax:看看。。。 (2013-04-06 12:52)  kA;Tr4EA6  
bJF/daC5  
kankan。。。
_yyyang 2013-04-06 22:19
多謝分享~
nishisheiyae 2013-04-08 11:37
謝謝樓主分享支持
kevien 2013-04-08 12:01
學(xué)習(xí)一下
miahoho 2013-04-08 16:14
學(xué)習(xí),相同的技術(shù)背景哦
zhangnengyi 2013-04-08 21:46
頂一下,學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)!
ekisyou 2013-04-09 08:06
頂一下。。。。。
娜娜紫 2013-04-09 09:03
....不許灌水
wushenjian 2013-04-09 13:24
看看怎么樣呀
jccqqqqq 2013-04-09 14:38
我來學(xué)習(xí)下
wjf_85 2013-04-09 15:59
shadonddong
ljh289518 2013-04-11 22:32
好東西
adai22 2013-04-30 00:03
長春光機(jī)所哦,牛逼
121331768 2013-05-07 18:39
學(xué)習(xí)了。
雨雪霏霏 2013-05-07 23:48
哎,又見師兄的博士論文,你們那里搞的
ciomplj 2013-05-09 22:05
我想看看,謝謝了!
hotter4760 2013-05-16 15:49
用戶被禁言,該主題自動(dòng)屏蔽!
甲蟲 2013-06-04 14:41
看一看
將心向火星 2013-07-12 18:50
看看什么水平
bfzs2012 2013-08-14 14:41
學(xué)習(xí)一下
jianjun123 2013-08-20 15:53
學(xué)習(xí)一下........
chengzheng 2013-08-31 22:54
學(xué)習(xí)下,謝謝      
aircat 2013-09-26 14:31
瞭解一下這系統(tǒng)
zhchqphchz 2013-10-17 20:05
take a look ;cv.f>Cm  
tks a lot
nihao999 2013-11-05 22:38
學(xué)習(xí)中
maliang887 2013-11-07 09:51
學(xué)下學(xué)習(xí)
beckwei 2013-12-20 14:40
好啊!看一看
doddshi 2014-01-06 22:29
學(xué)習(xí)了,下
zoubois 2014-01-07 15:07
先來學(xué)習(xí)一下了
chengzheng 2014-01-07 22:37
謝謝樓主分享
sswing 2014-01-07 22:51
NIUBIHH
qazber 2014-01-23 16:20
光刻機(jī)很高端啊
xyx8002 2014-03-25 14:50
好資料!
查看本帖完整版本: [-- 光刻機(jī)照明系統(tǒng)設(shè)計(jì) --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP備06003254號(hào)-1 網(wǎng)站統(tǒng)計(jì)