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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 光馳機(jī) 只有晶控 請(qǐng)各位大俠幫忙解決個(gè)問(wèn)題！ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁(yè)]

ken_jinyan1 2012-11-12 16:54

光馳機(jī) 只有晶控 請(qǐng)各位大俠幫忙解決個(gè)問(wèn)題！

我公司新買(mǎi)臺(tái) 光馳 GENER1300真空鍍膜機(jī)，只有晶控沒(méi)有配光控。問(wèn)下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 )dC%g=dtc  
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現(xiàn)在有個(gè)問(wèn)題請(qǐng)教一下，電子槍擋板打開(kāi)后，成膜速度過(guò)快，速度沖到設(shè)定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過(guò)30秒左右后能穩(wěn)定在設(shè)定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設(shè)定有問(wèn)題，具體數(shù)為：  請(qǐng)各位幫忙分析下 0