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phoenixzqy 2012-02-14 22:14

折疊式光刻物鏡

在原有光刻物鏡專利的基礎(chǔ)上，對物鏡進行了簡化和修改，留出了添加反射鏡的空間，實現(xiàn)了光路的折疊。
phoenixzqy 2012-02-14 22:15
幫一學生做的光路模擬。
phoenixzqy 2012-03-27 00:43
雙遠心光路！
hoxomo 2012-08-31 17:47
4:1的？
phoenixzqy 2012-08-31 21:47
hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color]