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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 有沒有可能在一塊玻璃基底上分區(qū)鍍膜 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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zmyaction

2011-12-31 16:42

有沒有可能在一塊玻璃基底上分區(qū)鍍膜

求教：
       把一塊玻璃基底的一個(gè)光學(xué)表面劃分為左右兩部分（不是物理切斷），兩部分分別鍍膜，比如左邊鍍A膜,右邊鍍B膜，并要求A膜與B膜過渡間隔<50um.
       能不能，或者有什么辦法可以做到呢？
       用機(jī)械擋可以嗎？我擔(dān)心膜料原子在基底表面的遷移運(yùn)動(dòng)會(huì)擴(kuò)散到遮擋物下面，致使兩膜層間隔模糊不清，并且過渡間隔將遠(yuǎn)大于50um。
       不知有沒有朋友有更好的建議。

12511895	2011-12-31 21:07
你要鍍的是什么膜�。�？能不能說說啊�。�！才能回答你的問題�。。。烧咧g的鍍膜要求啊�。�

lsx2525	2012-01-28 22:34
用掩膜應(yīng)該可以做。但是掩膜和基片之間的距離要盡量的緊貼。

yzhuang	2012-02-05 14:35
這么高的要求，沒做過，鍍兩種膜是做過的，但是允許誤差是1毫米左右的。

伏龍之	2012-02-25 21:42
先鍍A膜，涂一般加50NM的光刻膠后再刻蝕，再鍍B膜再刻蝕

r58001105	2012-02-28 17:33
有方式可以達(dá)到你的要求,而且線寬可以更小,但是要看你的後援 .{S8f#p9T 因?yàn)槲以?jīng)在同一片玻璃上鍍4~5種膜,但是加工程序很花錢

天涯若比	2012-04-27 13:35
樓主具體想做哪兩種？可聯(lián)系QQ:277955946，可以給你試試。

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