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ppkppk 2006-05-25 16:24

請(qǐng)問trace pro 適合的最小結(jié)構(gòu)尺寸?

trace pro 是用什么方法做光學(xué)分析的,幾何光學(xué)還是波動(dòng)光學(xué)? e|"WQ>  
trace pro 適合的最小尺寸是多少,幾百納米的結(jié)構(gòu)也適用嗎? .P8&5i)'P,  
0Tx6zO  
謝了先!
lepaga 2006-06-04 11:28
我也好想知道喔~~有哪位大大知道呢
godstyle 2007-01-25 00:06
好問題,擲得好好想想.....
gzy2651rcl 2007-03-17 20:19
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