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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 平面磁控濺射靶磁場(chǎng)的計(jì)算 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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chenchao

2011-12-18 15:53

平面磁控濺射靶磁場(chǎng)的計(jì)算

平面磁控濺射靶磁場(chǎng)的計(jì)算摘要：精確分析磁控靶的磁場(chǎng)對(duì)優(yōu)化磁控靶的設(shè)計(jì)非常重要。本文采用有限元法分析了圓形平面磁控靶的二維磁場(chǎng)分布 ,理論計(jì)算的結(jié)果與特斯拉計(jì)的實(shí)驗(yàn)測(cè)量相符 ,通過(guò)對(duì)比兩種不同磁極尺寸的磁控靶的磁場(chǎng) ,發(fā)現(xiàn)減少磁極的尺寸可以擴(kuò)展靶表面徑向磁場(chǎng)區(qū)域 ,磁芯上方加圓錐形極靴可以增強(qiáng)磁芯上方徑向磁場(chǎng)。

關(guān)鍵詞：磁控濺射；磁場(chǎng)；有限元法

maf999	2012-06-11 09:44
又要錢(qián)

maf999	2012-06-11 09:45
不能免費(fèi)嗎

ggtech	2013-06-17 21:22
謝謝。

scenery	2013-08-03 08:38
好貼�。。。。。。。。�

大敏哥	2017-12-26 16:25
學(xué)習(xí)一下，很少見(jiàn)得資料 f+\|$&p%

hunter999	2018-06-21 14:36
xiexie fenxiang

18073266662	2020-05-27 16:38
VB和分隔符

18073266662	2020-05-27 16:38
看看學(xué)學(xué)一下

曹英朝	2020-06-06 20:50
tks!look look

tny520	2022-08-22 10:26
學(xué)習(xí)一下

cwl563590	2024-09-08 11:03
好東西，感謝樓主

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