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在反應(yīng)濺射鋁的過程中的打弧問題
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余登峰
2011-11-27 13:43
在反應(yīng)濺射鋁的過程中的打弧問題
在反應(yīng)濺射鋁的過程中的打弧問題,看到的共享一下。
zmfu77
2011-12-16 14:14
如果采用的是直流磁控濺射設(shè)備,應(yīng)該有以下幾個原因:
@X/-p3729
1、靶的兩端污染嚴(yán)重,導(dǎo)電性能差,積累大量電荷,造成對真空腔體放電打火。
N7s9"i
2、靶表面污染或有氧化層
!P6y_Frpe
3、靶的兩端有清微漏水、漏氣的情況
<dk9n}y<,
4、電源滅弧性能差
guangbao
2014-03-09 23:28
看看隱藏了什么?
2NL|_W/
caiqiwen
2014-11-06 21:55
回復(fù)看一下附件
光跡
2020-08-20 11:55
隱藏的是什么
嚶?lián)糸L空
2024-05-31 08:21
反應(yīng)濺射鍍鋁是加氧鍍氧化鋁嗎
r7)iNTQ1
xiezhizhi
2024-06-01 15:48
一樣的
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