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鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關系?
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e501559
2011-11-01 11:21
鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關系?
求解:鍍膜速率、功率、膜厚、Tooling之間的關系? 怎么理解它們之間的關系?
yzhuang
2011-11-08 12:23
一般是通過控制功率來控制速率,而膜厚是速率乘以時間的累積,tooling是校正厚度而設的一個材料參數(shù)。具體為toolingX顯示厚度=實測厚度
xingmeng1227
2011-11-09 18:13
shoujiaole
cxb007007
2011-11-12 09:58
在一定條件下 功率大 速率高 相對折射率偏高 膜厚減少
xingmeng1227
2011-11-26 20:15
zhemejiandan?
老城1234
2012-08-15 22:14
呵呵 這個也問啊
a060103112
2013-02-27 12:46
其實吧,這些問題你自己好好想想應該是能明白的
scenery
2013-08-03 08:54
新手,好好學習中
rexchou
2016-04-21 17:31
鍍膜速率=單位A/s(每秒可以鍍幾個A的材料)
Ynl^Z
jV2L;APCq
功率=電子槍功率
uUB,OmLN
nsKl3}uU
膜厚:薄膜厚度(nm)
N7Kq$G2O
P^&%T?Y6z
Tooling=誤差值=實際/理想
{Fs}8\