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opturn_yang 2011-07-11 12:28

等離子體和離子源 介紹

等離子體是指被激發(fā)的氣體達到一定電離度（＞10-4），氣體處于導電狀態(tài)，這種狀態(tài)的電離氣體是由大量接近于自由運動的帶電離子所組成的體系，在整體上是準中性的。粒子運動與電磁場（外電場和粒子間的自洽場）是不可分割的，這種互相作用的電磁力是長程力，從而使等離子體顯示出集體行為的特點，即電離氣體中每一帶電離子的運動都會影響到其周圍帶電離子，同時也受到其他帶電粒子的約束。由于電離氣體整體行為表現(xiàn)為電中性，也就是電離氣體內(nèi)正負電荷數(shù)相等，這種氣體狀態(tài)為等離子體態(tài)簡稱等離子體。有由于它獨特行為與固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)都截然不同，故又稱之為物質(zhì)的第四態(tài)。 lIz_0rE  
   離子源是離子束濺射(IBS)和離子束加工(IBF)設備的關鍵部件。R&R公司的寬離子束源目前主要有Kaufman離子源、微波ECR離子源和RF離子源。其工作原理是利用氣體放電產(chǎn)生等離子體，等離子體由電子、離子和中性粒子所組成，并被引出成束，成為離子源。 8|({ _Z  
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                                  詳情請參考  http://opturn.blog.sohu.com/163227555.html
zlk000000 2011-07-17 01:55
受用了，謝謝。
愛哭的云彩 2017-08-10 19:27
解釋的很完美
奔跑的小駿馬 2017-08-16 15:46
受用了。不過感覺還是很籠統(tǒng)
suhuanzhen 2019-09-12 08:56
謝謝分享二
gaofei555 2024-08-09 09:46
感謝分享...
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