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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 阻抗問題討論 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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greenhaw	2011-06-29 19:34
阻抗問題討論在DC sputtering時(shí)，有一個(gè)參數(shù)是Impedance范圍0-10000，請(qǐng)問如果過程中如真空度過高或功率很低引起阻抗很大，意味著什么，會(huì)不會(huì)對(duì)電源有損害？

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