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opturn_yang 2011-05-14 22:27

什么是雙離子束濺射薄膜沉積，它有什么優(yōu)勢(shì)

請(qǐng)教大家雙離子束濺射薄膜沉積的原理是什么啊，聽說(shuō)離子束還能拋光，請(qǐng)大家賜教。 M3AXe]<eC1  
wd94 2011-06-05 14:43
就是一個(gè)濺射一個(gè)輔助 代表機(jī)型有VEECO
wd94 2011-06-05 14:45
優(yōu)點(diǎn)是膜層的致密性好點(diǎn)
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