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shizi19 2011-03-29 09:41

光學鍍膜機維護計劃

光學鍍膜機的維護包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計量部件的定期校準兩部分。 j"8N)la  
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 iP_Xr~w  
1.腔室內(nèi)部防護板 ~[6|VpGc:  
周期：每月清理一次 %W@IB8]Vr  
先對防護板進行更換，將污染的防護板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲物柜以備下次更換。 DlO;EH  
2.離子源清洗 *&MkkI#  
周期：50~100小時 bd}SB