| yuewu |
2011-02-21 10:03 |
電容式真空壓力傳感器
E+H公司的電容式壓力傳感器是由一塊基片和厚度為0.8～2.8mm的氧化鋁(Al2O3)構(gòu)成,其間用1個自熔焊接圓環(huán)釬焊在一起。該環(huán)具有隔離作用,不需要溫度賠償,可以保持長期測量的可靠性和持久的精度。測量方法采用電容原理,基片上一電容CP位于位移最大的膜片的中央,而另一參考電容CR位于膜片的邊沿,由于邊沿很難以生產(chǎn)生位移,電容值不發(fā)發(fā)生變故化,CP的變化則與施加的壓力變化有關(guān),膜片的位移和壓力之間的關(guān)系是線性的。遇到過載時(shí),膜片貼在基片上不會被破壞,無負(fù)載時(shí)會立刻返回原位無任何滯后,過載量可以達(dá)到100%,即使是破壞也不會泄漏任何污染介質(zhì)。因此具有廣泛的應(yīng)用前景。 : RO:k|g
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