| universalpei |
2010-05-21 13:51 |
納米壓痕儀
美國(guó)NANOVEA納米壓痕測(cè)試儀 H~" XlP
美國(guó)NANOVEA公司是一家全球公認(rèn)的壓痕測(cè)試儀的領(lǐng)航者，生產(chǎn)的壓痕測(cè)試儀是目前國(guó)際上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域最先進(jìn)的設(shè)備，主要應(yīng)用在：半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲(chǔ)材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)； EC| b7
特點(diǎn)：主要用于納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)壓入載荷大小與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積。 pDx}~IB
•完全符合ISO14577、ASTME2546 6 MR S0{
•光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察 =Hs~fHa)
•獨(dú)特的熱漂移控制技術(shù) V.274e
•可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點(diǎn)、應(yīng)力－應(yīng)變、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù)。 $J XQn
•適時(shí)測(cè)量載荷大小 }GTy {Y *&
•采用獨(dú)立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器 -x1O|q69
•快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng) 7QkAr
•雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石 >'zp
技術(shù)參數(shù) '}wYSG-
載荷范圍 400mN(800mN,1600mN可選) 4) nQBFX
載荷分辨率 0.03μN(yùn) 8 M'6Kcr
深度范圍 250μm `Lu\zR%<
深度分辨率 0.003nm 4==Lt Ep
熱飄逸 <0.05nm/s *8CE0;p'k
最大摩擦力 400mN +nslS:(
Sinus 模式分析(DMA) 20HZ
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