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fupi1419

2010-03-16 16:04

求救,詭異的脫膜狀況,急....

最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請問這種情況各位有沒有遇到過,有解決的方法嗎???

鍍膜溫度290度,鍍膜材料為TiO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無離子源助鍍.......

懇請賜教~~~

shenbin	2010-03-16 20:10
我們也有這個現(xiàn)象但是我們的溫度是380

xiaoli010102	2010-03-19 21:59
我來說下不知道對不對僅供參考在鍍制中溫度要控制好不應(yīng)過高是一點看鍍制40-50層一般零件是中間厚邊緣薄，本來就有內(nèi)應(yīng)力而且還要學日本去用沸水煮況且在鍍制中越往后雖然真空度高了但膜料由于蒸發(fā)角的原因沉積會受到影響所以會變薄建議零件完工后褪下火或者用離子源輔助

shenbin	2010-03-20 18:03
有什么退火的工藝嗎

cych1984	2010-03-25 15:16
同意2樓的說法。

ljq2007	2010-05-05 22:12
最外層不要用SiO2,用Al2O3試試。

朱小朱	2012-02-13 13:43
學習了謝謝

dede	2012-02-15 22:57
學習了謝謝

dede	2012-02-15 22:58
5樓： 2 `h!:0 AL2O3防水好點嗎？ +7<>x-+

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